高頻設備在使用過程中要按照操作規范執行，并且做好保養工作，這樣不僅能夠保證高頻機正常工作，而且能夠延長高頻設備的使用壽命。

1、每季度將電子管拔下，將位置調換180度（FU501除外），再插入電子管管座再使用，以延長管子壽命。

2、每半年內對風扇、變壓器、高壓電容器、諧振腔等處的塵埃進行必要的清整。（不要用或濕布去擦，要用過濾的空氣去吹或用干布控試）。

3、本機轉動部件如：滑板、絲杠、推桿軸等處應每月加注30#機油保證潤滑，并保持設備清潔干凈。

4、高周波加熱時，模具或必須保持清潔，否則加熱過程會產生跳火現象，如發生跳火后，必須檢查模具是否毀壞，如發現有缺口必須修補之，如有塵垢請用洗模水（天拿水）清理之。

5、接地之水線銅于經常受壓容易損壞，如發現有所毀壞，請即更換。